0.6-1.6 <Ω·cm>
抵抗率
≤12 <ppma>
酸素含有量
≤1 <ppma>
炭素含有量
≥800 <µs>
少数キャリア寿命
材料性能
プロジェクト
仕様
検出方法
結晶育成方法
CZ(チョクラルスキー)法
--
結晶性
単結晶
--
導電タイプ
N型
PN測定機
寸法
M10：182.2x182.2φ247mm
G12：210x210 φ295mm
G12-R：182.3x210 φ272mm
シリコンウェハー選別機
厚さ
M10：90-160µm
G12：90-160µm
G12-R：90-160µm
シリコンウェハー選別機
| プロジェクト | 仕様 | 検出方法 |
|---|---|---|
| 結晶育成方法 | CZ(チョクラルスキー)法 | -- |
| 結晶性 | 単結晶 | -- |
| 導電タイプ | N型 | PN測定機 |
| 寸法 | M10：182.2x182.2φ247mm G12：210x210 φ295mm G12-R：182.3x210 φ272mm |
シリコンウェハー選別機 |
| 厚さ | M10：90-160µm G12：90-160µm G12-R：90-160µm |
シリコンウェハー選別機 |
電気特性
プロジェクト
仕様
検出方法
抵抗率
0.6-1.6<Ω·cm>
シリコンウェハー選別機
少数キャリア寿命
≥800<µs>
少数キャリア寿命測定機BCT-400
酸素含有量
≤12<ppma>
FTIR(フーリエ変換赤外分光分析装置)
炭素含有量
≤1<ppma>
FTIR(フーリエ変換赤外分光分析装置)
| プロジェクト | 仕様 | 検出方法 |
|---|---|---|
| 抵抗率 | 0.6-1.6<Ω·cm> | シリコンウェハー選別機 |
| 少数キャリア寿命 | ≥800<µs> | 少数キャリア寿命測定機BCT-400 |
| 酸素含有量 | ≤12 |
FTIR(フーリエ変換赤外分光分析装置) |
| 炭素含有量 | ≤1 |
FTIR(フーリエ変換赤外分光分析装置) |
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